问题补充说明：MOCVD设备?多少钱台?
MOCVD是在气相外延生长(VPE)的基础上发展起来的一种新型气相外360问答延生长技术。
MOCVD是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有机化合物和V、Ⅵ族元素的氢化物等作为晶体生长源材料，以热分解反应方式在衬底上进行气相外延，生长各种Ⅲ-V主族、Ⅱ-Ⅵ副族化合物半导体以及它们的多元固溶文剂执体的薄层单晶材料。
MO教眼万径谈侵三杀二立乱CVD的组成：
因为MOCVD生长使用的源是易燃、易爆、毒性很大的物质，并且要生长多组分、大面积、薄层和超薄层异烟脚响质材料。因此在MOCVD系统的设计思想上，通常要考虑系统密封性，流量、温度控制否吗个低渐城越要精确，组分变换要迅速老义娘，系统要紧凑等。
不同厂家和研究者所产生或组装的MOCVD设备是不同的。
一般由源供给系又毛北神五路相态声来副统、气体输运和流量控制系统、反应室及温度控制系统、尾气处理及安全防护报警系统、自动操作及电控系统。
以上内容参考：百度百科—MOVCD
标签：MOCVD,设备
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